米地亚离子源
考夫曼离子源；射频离子源；霍尔离子源；栅网
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详情描述
产品参数
| 型号 | EH-5 | EH-8 | EH-10 |
| 阳极电压(V) | 300 | 200 | 300 |
| 阳极电流(A) | 5 | 8 | 10 |
| 离子流密度不均匀性(?%) | ?10%(60°发散角内) | ?10%(60°发散角内) | ?10%(60°发散角内) |
| 阳极水冷 | 无 | 有 | 有 |
| 阴极灯丝 | Φ0.6mm双灯丝 | Φ0.6mm双灯丝 | Φ0.6mm 双灯丝 |
| 适用真空室尺寸 | Φ600mm-800mm | Φ1000mm以上 | Φ1000mm以上 |
