米地亚离子源
考夫曼离子源;射频离子源;霍尔离子源;栅网
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栅网
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栅网,采用金属栅,通过多道热处理定型,使用中不易变形,对离子束精度控制高,具有更高的通量和更好的能量分辨率。

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