米地亚离子源
考夫曼离子源；射频离子源；霍尔离子源；栅网
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详情描述
商品说明
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型号 | KFH-16 |
束流能量 | 100-1500V |
束流直径 | 16cm |
zui大束流 | 500mA |
中和器 | 内浸式灯丝 |
阴极灯丝 | 2 |
供电 | AC220V |
控制器 | 带485通信接口，外形尺寸480mm?460mm?176mm(4u) |
工艺气体 | 惰性气体、活性气体、混合气体 |
安装距离 | 150-300mm |
离子束 | 平行、聚焦、发散 |
安装方式 | 法兰安装、内装 |
商品参数
应用领域：
溅射沉积IBD
离子束刻蚀IBE
表面改性、激活
辅助镀膜
