米地亚离子源
考夫曼离子源；射频离子源；霍尔离子源；栅网
详情描述
射频离子源系列
型号 | KRF-6 | KRF-16 | KRF30?6 |
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离子束流mA | ≥80 | ≥150 | ≥150 |
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离子能量eV | 100-1000 | 100-1000 | 100-1500 |
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拔出束流直径cm | Φ6 | Φ16 | 30?6 |
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离子束形态 | 平行 聚焦 发散 | |||||
安装形式 | 法兰 | 法兰、 | 法兰 | 内 | ||
图片 |
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中和形式 | 内浸式灯丝,射频中和器 | |||||
24小时服务热线18521851417
