米地亚离子源
考夫曼离子源;射频离子源;霍尔离子源;栅网
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20cm平行束考夫曼离子源均匀性测试

2024.11.01

60度15rpm

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 60度10rpm-第二次

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30度20rpm加速180V束流100mA-20Ar-2

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